CS100 Масов контролер на потока и дебитометърГлобален доставчик

Пекин, икономическа и технологична зона за развитие, проспект Wenchang No. 8 (пощенски код: 100176)

Предимства

• CS100 продукти са създадени по поръчка на клиента,
• Клиентите могат да изберат ±15V двойно захранване или +24 единично захранване според нуждите;
• Метални или гумени уплътнения;
Размерите на продуктите могат да бъдат избрани за продукти, които отговарят на общите международни стандарти SEMI, както и за продукти с затягане.

Технически параметри

CS100

Модел

CS100A

CS100D

Тип клапан

Често затворено

Няма

Често затворено

Няма

Спецификация на потока (N2)

(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM

Точност

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)； ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)

Линеен

±0.5% F.S.

Повтаряне на точността

±0.2% F.S.

Време за отговор

≤ 1sec

Диапазон на работното налягане

0.05～0.35MPa； Спецификация на потока ≤10SLM
0.1～0.35MPa ； 10 <Спецификация на потока≤30SLM
0.25～0.45MPa ； 30 <Спецификация на потока ≤50SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa； Спецификация на потока ≤10SLM
0.1～0.35MPa； 10 <Спецификация на потока≤30SLM

＜0.02 MPa

Температурен коэффициент

нулева точка: ≤ ± 0,05% FS / ℃; Регулиране: ≤ ± 0,1% FS / ℃

Устойчивост на налягане

3MPa

10MPa

3MPa

10MPa

Пропускане

1×10^-9Pa·m³/ sec He（1×10^-8atm·cc / sec He）

Материал за уплътняване

Флорен каучук

Метално запечатване

Максимално работно налягане

0.45MPa

Температура на работната среда

（5～45）℃

Въведен сигнал

Симулиране:
(0～5)VDC

Номер: RS485

Няма

Симулиране:
(0～5)VDC

Номер: RS485

Няма

Изходен сигнал

Симулиране:
(0～5)VDC

Номер: RS485

Аналог: (0-5) VDC

Номер: RS485

Симулиране:
(0～5)VDC

Номер: RS485

Симулиране:
(0～5)VDC

Номер: RS485

Форма на захранване

Тип D 9 игли
слънчеви съединения;