Контролер на дебелината на мембраната
Технически характеристики:
1. Пълен сензорен екран, лесен за използване;
2.32Една мембрана, всяка мембрана50/100слой автоматично покритие;
3. 12Вход на пътен сигнал/12Изход на превключвателя;
4. Напълно автоматичен, полуавтоматичен и ръчен режим на управление;
5.Контролиран2Един източник, един набор от работа друг набор от предварителни разтвори;
Технически параметри
|
Контролер CY-FDC-S |
Кристална честота |
6MHz (по избор 2.5M 3M 5M 9M кристали) |
Показване |
5" цветен сензорен екран + цифрова тръба скорост и реална дебелина |
Начин на работа |
сензорен екран |
Крайна дебелина |
00μ0000Å-99μ9999Å |
Дебелина на резолюцията на дисплея |
1Å/s |
Резолюция на скоростта |
0.1Å/s |
Брой слоеве покритие |
32 мембранни системи, всяка мембранна система 50/100 слоя; |
Брой сонди |
A B |
Инструментен фактор |
0.01-99.99 |
Показване на времето |
00:00:00-23:59:59 H:M:S |
Показател на мощност |
0~99.9% |
Предварителна мощност |
0~99% |
Предварително покритие мощност |
0~99.9% |
Време за предварително топене / време за предварително покритие |
0~99:99 m:s |
Време за предварително топене Време за изолация |
0~99:99 m:s |
Скорост на покритие (зададена скорост) |
0~999.9Å/s |
Съхранение на материали |
257+ персонализирани 10 вида |
комуникациите |
RS232/RS485 |
Контролиран източник на изпаряване |
Две, един комплект може да работи друг комплект предварително разтворен |
Контрол на изхода |
±10V/5V/2.5V |
I/интерфейс |
12 входа/12 изхода |
Брой контролируеми тигели |
от 1 до 16 |
Показател за покритие |
Крива скорост/стойност |
Брой обиколки на покритието |
50/100 слоя автоматично за всяка мембрана |
Размер на корпуса |
480 × 280 × 89 мм (2U 19 "корпус) |
Специални функции:
1Ръчно, полуавтоматично, автоматично3Вид режим на покритие, за да отговарят на различни конфигурации на машините за покритие;
2Изкуствено спиране на покритието: изкуствено спиране на покритието по време на покритието;
3Ръчно управление: определяне на първоначалните изисквания за процеса на покритие;
4Система за прекъсване на мембраната: откриване на проблеми или неизправности в автоматичното и полуавтоматичното покритие, може да спре покритието и автоматично да запази текущото състояние, след неизправност **, може да продължи покритието от система за прекъсване на мембраната;
5Автоматично или полуавтоматично покритие, ако кристалната вибрация се провали, можете да изберете да приключите покритието, да покриете покритието според текущото време на мощност, да продължите да превключвате чипа (мултичип сонда);
6Два източника едновременно предварително топене: в началото на текущия слой покритие, можете да изберете едновременно2слоевете се предварително топят, за да отговорят на напрегнати случаи, изискващи време;
7Защита с парола: функция за защита с парола на параметрите на мембранната система и мембранния слой, защита на параметрите на процеса от промяна от персонал, който не е процесор;
8Записване на данни за покритието: при автоматично или полуавтоматично покритие, системата може да записва времето за образуване на филма на всеки слой и параметрите на скоростта на крайната дебелина.