OTL-PECVD-1200-1400-1200 тритемпературна зона PECVD система, състояща се от три плъзгащи пръчки вакуумна тръба печка, кварцова вакуумна камера, радиочестотна захранване, GX система за газоснабдяване, система за изпомпване на газ, система за измерване на вакуум, електрически механизъм за влачене.

Основни характеристики:

Превръщане на газа в кварцовата вакуумна камера в йонно състояние чрез радиочестотно захранване.

PECVD е с по-ниска температура, необходима за осаждане на химически газове, отколкото обикновените CVD

3, може да се контролира размерът на напрежението на отлагания филм чрез честотата на радиочестотното захранване

PECVD има висока скорост на отлагане на химически газове, добра равномерност, последователност и стабилност от обикновения CVD.

Широко се използва в: растежа на различни тънки филми, като: SiOx, SiNx, SiOxNy и анотипен силиций (a-Si: H) и т.н.

Тази система PECVD с три температурни зони е система PECVD, която може да се нагрява и охлажда бързо, като се инсталира двойка електрически плъзгащи релси в три тръбопроводни печки, които могат да бъдат използвани с електрическа плъзгаща система. Максимална скорост на отопление и охлаждане до 100°C/мин. За да се постигне най-бързо отопление, печката може да бъде предварително загрята до зададената температура и след това да се премести печката в пробатаПоставете го. За да се постигне най-бързо охлаждане, печката може да бъде преместена на другия край след загряване на пробата. Скоростта на отопление и охлаждане може да бъде постигната при вакуум или инертен газ.10 ° C / s, е нискоцена бързо отопление и охлаждане на двойна температурна зона PECVD система.

Тази система PECVD с три температурни зони използва шведски Kanthal съпротивни жици и силициеви въглеродни пръти като отоплителни елементи, използва двойна корпусна структура и 30 програмни температурометра, изместване на фазата, контролируем силициев контрол, печката използва японски внос на поликристални влакна от алуминиев оксид, тръбата на печката е запечатана с фланца от неръждаема стомана, фланца от неръждаема стомана е монтирана с въздушна устаВакуумът може да достигне 10-3 Pa, разделен на две температурни зони, две температурни зони могат да бъдат независимо контролирани, настроени различни температури, лесна за използване, лесна за работа, печката има баланс на температурното поле, ниска повърхностна температура, бърза скорост на охлаждане, спестяване на енергия и други предимства, които са университети, научни изследователски институти, минни предприятия, които правят горене на атмосфера с висока температура Идеални продукти за възли, растеж на графен, растеж на различни тънки филми.

(1), дебелината на горещия край на силициевите въглеродни пръчки е 14 мм, обикновеният производител използва 12 мм, дебелината на отоплителния край, не е лесна за огъване, повърхностното натоварване на пръчките е ниско и дълъг живот.

（2), дължината на студения край е 210 мм, обикновеният производител използва 180 мм, температурата на върха на студената печка е ниска.

(3), повърхността на силициевите въглеродни пръти окислява некристална плътна мембрана, която може да защити по-добре въглеродните пръти.

Празното отваряне се изключва автоматично, когато веригата претеква или тече

Атмосферна тръба печкаНо...С комуникационен интерфейс и софтуер, може да се контролират различните параметри на печката директно чрез компютър и да се наблюдава от компютъра стойността на температурата на PV и SV на печката и работата на прибора, компютърът на действителната крива за затопляне на печката ще бъде нарисуван в реално време и може да запази температурните данни за всеки момент, по всяко време може да се извади

(1), висококачествена високочиста алуминиев оксид поликристални влакна за вакуумно филтриране.
2) Използване на японски технологии.
(3), материалът на печката е с нисък топлинен капацитет и нисък топлопроводник, което води до по-малко топлинно разхлаждане, добра изолация и висок отразяващ коефициент. Температурно равновесие.
(4) Пещта е фина и дълга, устойчива на високи температури, устойчива на топлинно повишаване и силен капацитет за охлаждане
(5) Повърхността на пещта е чиста и не е лесна за отстраняване на прах.

(Всички внесени електрически уреди са сертифицирани от UL)