Новият модел Pura Plus е специално проектиран за последните промени в изискванията на индустрията на ваферите за размерите и показателите на оборудването. Pura Plus е онлайн трансмисьор за промяна на влажността, многократно монтиран в завода за полупроводници, който води до края на доставката на газ на производствената линия, за мониторинг на приложенията на свръхчисти инертни газове. Разпределението на газовите системи в завода е сложно и включва много клонове, възли и точки на използване. Следователно, след обикновените точки за мониторинг на влажността, влажността може да се проникне поради малки изтичания, неефективен дизайн на системата, повреда на компонента или грешка в процеса и други причини, които влияят на използването по-долу. Pura Plus, инсталиран в разпределителната система, осигурява бърза реакция при нива на влажност от 20 ppb. Времето на реакция на 1 ppb е по-малко от 1 минута. Акценти Бърз отговор на промени в влажността на ниво ppb Чувствителност на ниско ниво на влага (<1 ppb) Нова концепция за монтаж на многоточкови измервания Ниски изисквания за поддръжка Показател на състоянието на сигналната лампа Настройване на предупреждения и алармни точки Modbus мрежа съвместимост Многоканален софтуер за дистанционно управление (UHP) Откриване на тръбопроводи за свръхчисти газове
Технически показатели
Скорост на отговор < 1 минута 20 ppb промяна в влажността 1 ppb време на отговор Измерване на влажността 1 ppb до 20 000 ppm Диапазон на налягане 0 до 10 бар Класове на налягане 300 бар Тест за изтичане 0-9 mbar л/с Обхват на работния поток 1 ~ 10 л / мин Работна температура 5 ~ 40 ° C Температура на съхранение 30 ~ 70 ° C захранване 20 ~ 28 V DC Потребление на енергия 5 W Макс. Клас външни предпазители 500 mA бързо топене Изход на данни Modbus ASCII двужичен RS485 Изход на предупреждения и аларми 2 пътя Максимално напрежение 40 V постоянно Максимален ток 100 мА Материали за контакт с газове Материал на корпуса Неръждаема стомана AISI 316L, електрическо полиране на вътрешната повърхност <10 Ra Структура на сензора Електролит от алуминиев оксид, защита с горно позлатено покритие, долен алуминиев слой Вътрешен обем 4,4 см³ тегло 450г Въздушен път интерфейс 1/4 'м видеокамера Електрически интерфейси 9-иглов интерфейс тип D Електромагнитна съвместимост EN 50081-2 и EN 50082-2