Функции на продукта:

Технологията за почистване с плазма произлиза от полупроводниковата индустрия преди около 30 години и се използва основно за почистване на въглеводороди от повърхността на пробата. Ключовата точка на плазменото почистване е, че химическият състав на самата проба не може да бъде променен; не може да се променят структурните характеристики на пробата; Повърхността на пробата не може да бъде повредена.
SOLARUS - нова усъвършенствана система за почистване на плазмата, която отстранява замърсяването на TEM и SEM пробени столове или проби от въглеводороди. Solarus е ново поколение плазмени системи, които са модифицирани с нова концепция и технология, за да осигурят по-добра производителност, лесна работа и добър ефект от почистване. В сравнение с всяка друга система за плазмено почистване на пазара, Solarus осигурява ефективен ефект на почистване.

Представяне на марката:

Американската компания GATAN е създадена през 1964 г. и навлиза на китайския пазар в края на 70-те години. GATAN се радва на изключително висока репутация в световната електроскопична индустрия с високото качество на своите продукти и технологичното напредък.

Като водещ световен производител на аксесоари за проектиране и производство за подобряване и разширяване на функционалността на електронния микроскоп, нашите продукти покриват всички стъпки от подготовката на пробите до изображението и анализа. Обхватът на приложенията на продуктите включва материални науки, науки за живота, геофизика, електроника, енергетични науки и други области. Обхватът на клиентите обхваща научни институти, университети, различни изпитвания и лаборатории на големи промишлени предприятия по целия свят и е широко признат в областта на международните научни изследвания.

Представяне на дилърите:

Opodong Co., Ltd. е водещ доставчик на услуги в областта на микронанотехнологиите в Китай, високотехнологично предприятие с инвестиционен фон, базирано в Хонконг, с клонове и офиси в Пекин, Шанхай, Лионин и Шандонг. Като важен стратегически партньор на Symerfly електронен микроскоп, оборудване за сканиране на електронни микроскопи GATAN и приложно оборудване за анализ в Китай, компанията се придържа към бизнес философията "изграждане на вътрешна марка за продажби на инструменти с влияние", силна съюзност с Symerfly, марката GATAN, предоставя висококачествени продукти и международни технически услуги на десетки хиляди китайски потребители.

Основни технически характеристики на продукта:

Solarus е уникално решение за почистване, което използва плазмена формула за по-бързо и задълбочено почистване на всички проби, включително въглеродната мембрана Holey. Устройството може безопасно да измие замърсителите от повърхностните отлагания - удължавайки времето за наблюдение на вече замърсените проби. Вакуумната система с молекулярна помпа в комбинация с многостепенна диамантна помпа осигурява бърз и надежден ефект на изпомпване. По-малко от 1 минута време за изпомпване и изпускане, 30 секунди - 2 минути време за почистване, целият процес не отнема 2 минути.

Предимства на плазменото почистване:

Подобряване на способността за изображение

Подобряване на точността на елементарния анализ

В SEM удължаване на времето за наблюдение и събиране на EDX и EBSD

По-малки лъчи могат да бъдат използвани, което е важно за анализа на STEM и EELS в TEM / STEM.

Основни технически параметри на продукта:

Радиочестотен източник: 50 Вт радиочестотно захранване с автоматично съвпадане на мощността

Вакуумна система: 70 л/с молекулярна помпа с двустепенна диаметрна помпа

Въздушното налягане: 5E-6 Torr основно налягане, 400mTorr работно налягане

Вакуумни регулатори: компактни регулатори на Пирани

Кабина:

Два предни интерфейса за зареждане на TEM адаптер за зареждане на странични TEM пробени пръчки и SEM пробени пръчки

Горният вход се използва за поставяне на SEM пробени столове, компоненти на микроскопни огледала или различни вакуумни части

Размер на кабината: 3.5" диаметър x 2.0" дълбочина

Предният прозорец за наблюдение наблюдава светлината на плазмата при работа

Вграденият електромагнитен клапан изолира кабината от вакуумната помпа, като вакуумът се изпомпва за по-малко от 1 минута и времето за изпускане на въздуха е по-малко от 5 секунди.

Контрол на газа: Използване на прецизен масов дебитометър за измерване и контрол на газовия поток

Вид газ: използване на трипътни независими газове (H2, O2 и Ar)

Рецепта за почистване: предлага разнообразие от рецепти, които съдържат H2/O2 и поддържат персонализирани рецепти

Потребителски интерфейс: интерактивен сензорен екран, предлагащ многоезичен интерфейс, който включва китайски, английски и други езици

Захранване: Общо напрежение / честота 100VAC - 240VAC / 50-60Hz / 1000W

Основните предимства на Solarus в сравнение с традиционните плазмени почистващи машини:

Уникална формула за H2/O2

По-бърз цикъл на почистване (по-малко от 2 минути)

3.) Интерактивен сензорен екран дизайн

4.) Предлага 7 тествани рецепти с един клик

5.) 2 предни пробени порта за зареждане на странични TEM и SEM пробени пръти

6.) Горният порт за монтиране на проби може да зареди няколко (> 25) TEM микрорешетки или SEM проби / проби

7.) Автоматично съвпадащ радиочестотен източник на мощност осигурява дългосрочна стабилност на плазмения източник

Прецизен контрол на газовия поток (масов дебитометър)

9.) Малко увреждане почистване Holey въглероден филм

10.) Поддръжка на няколко езика (английски, китайски, японски, корейски, френски, немски)

Основни приложения на продукта:

Отстраняване на замърсяването на TEM и SEM или проби от въглеводороди