Масово потоково измерване на топлинни газове Интелигентно масово потоково измерване Контролери на потока с малък обем

Използване и характеристики
Контролерът на масовия поток (MFC) се използва за прецизно измерване и контрол на масовия поток на газ. Те играят важна роля в научните изследвания и производството в индустрията на полупроводниците и интегрираните схеми, специалните материали, химическата промишленост, както и в промишлеността, медицината, вакуумните лампи. Типичните му приложения включват: електронно оборудване за процеси, като диффузия, разширяване, CVD、 Окисляване, плазмено гравиране, пръскане, йонно инжектиране; Оборудване за покрития, топене на оптични влакна, устройства за микрореакция, системи за разпределение на смесени газове, измерване на капиларите, газова хроматография и други аналитични инструменти.
Основни технически показатели
Обхват на измерване (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
Точност +1,5% F.S.
Линеен +0,5 ~ 1,5% F.S.
Точност на повтарянето +0.2% F.S
Време на отговор 10sec Характеристики на газа: (1 ~ 4) sec
Работно налягане 0.1 ~ 0.5MPa
Устойчивост на налягане 3Mpa 6Mpa 10Mpa
Температура на работната среда 0 ~ 70 ℃
Протокол RS485 MODBUS
Аналогова мощност DC 0 ~ 5V, 4 ~ 20mA по избор
Електрически характеристики: SLM
Захранване DC +15V/24V по избор, протокометър <50mA, контролер <200mA
Електрическа връзка DB15
Пропускане 1×10 SCCSHe
Материал на основата 316L неръждаема стомана
Материал за уплътняване Флуоров каучук, бутилен каучук, неопрен
Въздушен път свързване Φ3, Φ6, Φ10, 1/8 ", 1/4 ", 3/8 "
Забележка: Масовият потокметър и контролерът на масовия поток обикновено се калибрират с азот (N₂).
Единицата за масов поток се определя като: SCCM (стандартен ml/min); SLM (стандартен литър/минута)
Масово потоково измерване на топлинни газове Интелигентно масово потоково измерване Контролери на потока с малък обем