Име на инструмента: напълно автоматичен йонен пръскач Модел: ETD-800

Принцип: Диодно пряко пръскане

Име на инструмента: йонен пръскач Модел: ETD-900M

Принцип: магнетронно пръскане

При магнетронното разпръскване, тъй като движещите се електрони са подложени на силата на Лоренц в магнитното поле, тяхната траектория се огъва или дори произвежда.

Равно спирално движение, пътят му се удължава, като по този начин се увеличава броят на сблъсъците с молекулите на работния газ, така че плътността на плазмата се увеличава, така че скоростта на разпръскване на магнетрона се подобрява значително и може да работи при по-ниско напрежение и въздушно налягане. В същото време електроните, които са загубили енергия след няколко сблъсъка, когато достигат анода, се превръщат в електрони с ниска енергия, така че субстратата да не се прегрява.

Параметри на ETD-800:

Спецификации на домакина: 260mm × 307mm × 260mm (Ш × Г × В)

Спецификации за захранване: 220V / 50Hz

Целта (горен електрод): 50mm × 0.1mm (D × H)

Целта: Au

Вакуумна проба камера: Борсиликатно стъкло 115 мм × 100 мм (D × H)

Таймър: Zui Продължителност: 3600S

Механична помпа: 1L/S

Високо напрежение: -1200 DCV

Параметри на ETD-900M:

Спецификации на домакина: 300 мм × 360 мм × 380 мм (Ш × Г × В)

Целта (горен електрод): 50mm × 0.1mm (D × H)

Целта: Au (стандартно)

Проба стая: Борсиликатно стъкло 160mm × 120mm (D × H)

Размер на целта: Ф 50mm

真空指示表： zui 高真空度： ≤ 4X10-2 mbar

Йонен токометър: Zui Голям ток: 50mA

Таймър: Zui Дълго време: 0-360S

Микро вакуумен въздушен клапан: свързващ се с φ 3mm маркуч

Достъпни газове: Различни

Високо напрежение: -1600 DCV

Механична помпа: стандартна конфигурация 2L/S (домашна VRD-8)

Характеристики и приложение:

Приложения на ETD-800:

Подготовка на проби със сканиращ електронен микроскоп (SEM) за електроскопични лаборатории.

Характеристики:

Покриването на фини частици може да бъде постигнато чрез замена на различни цели (злато, платина, сребро и др.).

Операция с един клик, лесна за използване.

Приложения на ETD-900M:

Подготовка на проби за сканиращ електронен микроскоп (SEM) за електроскопични лаборатории, производство на експериментални електроди от непроводителни материали.

Характеристики:

1, прост, икономичен, надежден и красив външен вид.

Регулираем тока и налягането на вакуумната камера, за да контролираме скоростта на покритието и размера на частиците.

Бутонът за ръчно стартиране SETPLASMA предварително настроява налягането и тока на пръскането, за да се избегне ненужно увреждане на мембраната.

Вакуумната защита може да избегне прекалено нисък вакуум, причиняващ късо съединение на оборудването.

В същото време може да се постигне покритие на по-фини частици чрез замена на различни цели (злато, платина, иридий, сребро, мед и т.н.).

6, чрез преминаване в различни инертни газове, за да се постигне по-чисто покритие.