основен
KRI Холски ионен източник Gridless
CTI на борда IS 低温泵
HVA вакуумен правоъгълен клапан
Пълномагнитна плаваща турбомолекулна помпа
Хладилник с ултраниска температура Thermonics
Инструмент и измервателен уред
Пълномагнитна плаваща молекулярна помпа ATH 1600 MT
Thermonics Хипотемпературни охладители A-80-1700, въздушно охлаждане
Hakuto йонна гравираща машина IBE
Hakuto йонна гравираща машина 20IBE-J
Правоъгълник вакуумен клапан HVA (клапан за пластини) серия 88200
CTI На борда® IS 320FX 低温泵
САЩ KRI Хол йонен източник Gridless eH серия
Съединени щати KRI Хол ионен източник eH 400
Съединени щати KRI Хол ионен източник eH 1000
Термокатоден вакуумметър PBR 260 IMR 265
Успешна операция!